KLA-Tencor 推出 5D 图案成型控制解决方案的关键系统

KLA-Tencor 公司今天宣布，推出 WaferSight PWG 已图案晶圆几何形状测量系统、LMS IPRO6 光罩图案位置测量系统和 K-T Analyzer 9.0 先进数据分析系统。这三种新产品支援 KLA-Tencor 独特的 5D 图案成型控制解决方案，此方案着重于解决图案成型製程控制上的五个主要问题 — 元件结构的三维几何尺寸、时间效率和设备效率。

5D 图案成型控制解决方案主要透过对微影模组製程和非微影模组製程的量化、优化、和监控，来获取最佳的图案成型结果。透过将以上设备测量结果与智慧回馈及前馈製程控制回路相结合，此项解决方案能够协助晶片製造商利用现有製程装置以更快及更有成效的方式来提升多重图案成型技术、隔板周期分割及其他先进图案成型技术。

KLA-Tencor 参数解决方案集团副总裁 Ahmad Khan 说：「製程控制帮助我们的客户在驾驭日渐狭窄的製程窗口、缩小图案叠层对準误差预算以及複杂的创新图案成型技术上扮演了重要的角色。在微影光刻模组中，我们的 Archer 500 叠层对準和 SpectraShape 9000 关键尺寸先进测量系统提供了识别和监测图案成型误差的资讯。我们的新型 WaferSight PWG 和 LMS IPRO6 提供了光刻模组以外的製程资料或光罩图案位置误差，对图案成型侦错提供了额外的资讯。在 K-T Analyzer 9.0 灵活的数据资料分析支援下，它适切整合了整个晶圆厂各方面的测量数据，进而扩大了製程窗口，因而能够有效的改善客户尖端产品在生产线上的图案成型监控。」

多家先进积体电路製造商已在他们的研发单位或生产线安装了 WaferSight PWG，它用于测量各个製程阶段的已图案成型晶圆的几何形状，并协助晶片製造商识别和监测其影响图案成型的变因。WaferSight PWG 採用业界特有的垂直晶圆载座大幅度减小重力对形状测量的影响和每晶圆 350 万资料点的採样密度，提供了高度精準的晶圆形状资料，然后前馈至微影模组，去除晶圆几何形状对光刻扫描的影响，以改善图案的叠层对準。WaferSight PWG 还採用独特技术，可同时测量晶圆的前后表面，提供晶圆厚度指标，用来协助减小光刻机在扫描聚焦时的误差。WaferSight PWG 乃建构于全球晶圆製造商已广泛採用用于检测裸晶圆几何形状的 WaferSight 之平台架构上。

先进的光罩製造商则使用 LMS IPRO6 做全面性光罩图案放置误差的鉴别，而这种误差会直接造成晶圆上的图案叠层对準误差。LMS IPRO6 採用基于模型的专有测量技术，除了能够準确直接测量光罩上元件图案的位置，它也还能测量标準型的对準标记的位置，藉此提供有效高密度的採样品质，以作出更可靠的光罩品质决策。LMS IPRO6 的测量时间比其前身更为快速，以支援多重图案成型技术上需要测量更多光罩及光罩上更多採样点的产能需求。LMS IPRO6 能够量取元件图案複写位置的误差资料，以回馈给电子束光罩複写器做后续改善，此位置误差资料并能够前馈至晶圆厂的微影模组，用于去除光罩误差对光刻扫描的影响，藉此改善晶圆级的图案成型準度。

K-T Analyzer 9.0 已安装在晶圆代工厂及记忆体製造厂，是最新版本的业界标準平台，可对叠层对準、光罩位準、晶圆几何形状、薄膜、关键尺寸及元件轮廓测量系统等各种类型的测量系统进行先进的即时资料分析。K-T Analyzer 9.0 即时计算产品线上每批量光刻机上各个曝光场的个别校正，此种个别校正无需完整晶圆的测量资料，而能够提高控制计算上的準确度，并进而减少图案叠层对準误差。此外，K-T Analyzer 9.0 新的功能还包含多台光刻机机群管理、光刻机资料分析和光刻机对準位置优化能力，为晶片製造商提供灵活的解决方案，以改善光刻机的利用率，并监控和优化微影製程。

WaferSight PWG、LMS IPRO6 和 K-T Analyzer 9.0 是 KLA-Tencor 的综合 5D 图案成型控制解决方案的组成部分，该解决方案还包括叠层对準、薄膜、关键尺寸和元件轮廓测量系统以及 PROLITH 微影和图案成型模拟器。为了保持高效能和高产能，满足最先进的生产需要，WaferSight PWG、LMS IPRO6 和 K-T Analyzer 9.0 系统由 KLA-Tencor 的全球综合服务网路提供支援。关于更多资讯，请参阅5D 图案成型控制解决方案网页。